基于金字塔微结构阵列的超灵敏压力传感器

　　

随着可穿戴电子产品的快速发展，柔性压力传感器因其在健康监测、人机界面和智能机器人方面的应用前景而受到极大的关注。在宽响应范围内的高灵敏度是为各种可穿戴场景制造可靠压力传感器的关键要求。其中以聚二甲基硅氧烷（PDMS）为主体材料的柔性压阻式传感器的发展十分迅速。本文以表面含有金字塔微结构阵列的PDMS作为传感器的基底，通过喷涂法将碳纳米管（CNT）墨水均匀喷涂在PDMS金字塔表面作为灵敏的导电网络，制备了一种具有宽检测范围的超高灵敏度的柔性压力传感器。在0～60 kPa压强范围内，该传感器的灵敏度可达680 kPa^-1, 并且具有较低的迟滞性，较快的响应时间和恢复时间，以及较好的重复性和稳定性，并且可以实时监测脉搏的震动。它还可以成功地监测人体的生理信号和压力分布，显示出在可穿戴设备领域的广阔应用前景。

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